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超高真空排气台/高真空排气台/中科科美/KYVAC - PQT10G/高温排气
产品标签 | 超高真空排气台 高真空排气台 中科科美
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产品特点:
1.工位接口数量:6-20工位。2.极限真空度:抽排的工件极限真空度10-8Pa;3.无油污染:采用无油机械泵与分子泵,避免油蒸汽对工作环境的污染;4.烘烤:烘箱加热,烘烤温度可达到200℃且具有温度显示和可调功能;6.工位处配置充N2接口,使在卸下工件时能够充入N2保护;
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