是否进口：否	加工定制：是	品牌：KYVAC
型号：AZO ITO	用途：高真空ITO 箱式镀膜	别名：高真空ITO 箱式镀膜
规格：生产线

本系统为高真空ITO 箱式镀膜设备，主要用于沉积AZO、 ITO 透明导电薄膜，金属薄膜，半导体薄膜等，也可用于其他功能性薄膜的沉积。

1、双腔室结构（含工艺腔室及进出样室）；
2、溅射样品尺寸约450×250mm；
3、磁控溅射靶四支，其中两支为孪生靶，控制电源为两套直流电源和一套中频电源；
4、配三路气体及相应流量控制器；
5、配备轴向线性往复运动样品台；
6、在线膜厚检测装置；
7、加热及温控系统，***腔室能够加热至500℃；

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北京中科科美科技股份有限公司

主营产品：真空氦检漏设备、空间环境模拟设备、真空排气设备、真空镀膜设备

ITO镀膜生产线（KYVAC）/磁控溅射/电子束/蒸发镀/小型离子溅射仪

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